Численное моделирования течения многокомпонентной газовой смеси CF<sub>4</sub>/O<sub>2</sub> в ВЧ-разряде

Григорьев Ю.Н.

Инд. авторы:	Григорьев Ю.Н.
Заглавие:	Численное моделирования течения многокомпонентной газовой смеси CF₄/O₂ в ВЧ-разряде
Библ. ссылка:	Григорьев Ю.Н. Численное моделирования течения многокомпонентной газовой смеси CF₄/O₂ в ВЧ-разряде // Международная научная конференция «Современные проблемы математического моделирования и вычислительных технологий 2008». Красноярск, 2008. - С.20-21.
Издано:	Красноярск: , 2008
Физ. характеристика:	с.20-21