Инд. авторы:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г.
Заглавие:	Моделирование плазмохимической технологии травления в ВЧ разряде
Библ. ссылка:	Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Моделирование плазмохимической технологии травления в ВЧ разряде // Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем. Сборник трудов / под общ. ред. академика РАН А.Л. Стемпковского. М.: ИППМ РАН. - 2012. - С.217-220.
Издано:	2012
Физ. характеристика:	с.217-220