Инд. авторы:	Горобчук А.Г.
Заглавие:	Численное моделирование плазмохимических реакторов травления: Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук
Библ. ссылка:	Горобчук А.Г. Численное моделирование плазмохимических реакторов травления: Автореф. дис. канд. физ.-мат. наук : . - 2003. - Новосибирск: ИВТ СО РАН. - 16 с.
Издано:	Новосибирск: ИВТ СО РАН, 2003
Физ. характеристика:	16