| Инд. авторы: | Гадияк Г.В. |
| Заглавие: | Развитие теории термического окисления кремния |
| Библ. ссылка: | Гадияк Г.В. Развитие теории термического окисления кремния // Микроэлектроника. - 1998. - Т.27. - № 3. - С.226-231. - ISSN 0544-1269. |
| Издано: | 1998 |
| Физ. характеристика: | с.226-231 |