Инд. авторы:	Gadiyak G.V., Gadiyak V.G., Kosinova M.L., Salman E.G.
Заглавие:	The New Theoretical Model for Description of Degradation of Silicon Nitride Films Under High Temperature Annealing
Библ. ссылка:	Gadiyak G.V., Gadiyak V.G., Kosinova M.L., Salman E.G. The New Theoretical Model for Description of Degradation of Silicon Nitride Films Under High Temperature Annealing // Applied Surface Science. - 1997. - Vol.113-114. - P.647-651. - ISSN 0169-4332.
Внешние системы:	РИНЦ: 13251917;
Издано:	1997
Физ. характеристика:	с.647-651