| Инд. авторы: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Компьютерное моделирование реакторов плазмохимического травления |
| Библ. ссылка: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Компьютерное моделирование реакторов плазмохимического травления // Сопряженные задачи механики и экологии: Тез. докл. Международной конференции. Томск, 1996. - С.57-58. |
| Издано: | Томск: , 1996 |
| Физ. характеристика: | с.57-58 |