Инд. авторы:	Gadiyak G.V., Korobitsina J.L.
Заглавие:	Numerical Simulation of the Thermal Oxidation of Silicon in N2O
Библ. ссылка:	Gadiyak G.V., Korobitsina J.L. Numerical Simulation of the Thermal Oxidation of Silicon in N2O // J. Solid States Electronics. - 1994. - № 6.
Издано:	1994