Влияние характеристик ВЧ-разряда на процесс плахмохимического травления кремния в CF<sub>4</sub>/O<sub>2</sub>

Горобчук А.Г.

Инд. авторы:	Горобчук А.Г.
Заглавие:	Влияние характеристик ВЧ-разряда на процесс плахмохимического травления кремния в CF₄/O₂
Библ. ссылка:	Горобчук А.Г. Влияние характеристик ВЧ-разряда на процесс плахмохимического травления кремния в CF₄/O₂ // Сопряженные задачи механики реагирующих сред, информатики и экологии: Материалы международной конференции. Томск, 2007. - С.42-43.
Издано:	Томск: , 2007
Физ. характеристика:	с.42-43