| Инд. авторы: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. |
| Заглавие: | Моделирование ВЧ-разряда в плазмохимическом реакторе травления |
| Библ. ссылка: | Григорьев Ю.Н., Горобчук А.Г. Моделирование ВЧ-разряда в плазмохимическом реакторе травления // Тезисы докладов VII Международной конференции, посвященной 110-летию академика М. А. Лаврентьева. - 2010. - Новосибирск. - С.100. |
| Издано: | Новосибирск: , 2010 |
| Физ. характеристика: | с.100 |
| Конференция: | Название: VII Международная конференция «Лаврентьевские чтения по математике, механике и физике» Город: Новосибирск Страна: Россия Даты проведения: 2010-08-23 - 2010-08-27 |